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风淋室：

    风淋室是人进入洁净室所必需的通道，它可以减少人进出洁净室所带来的污染问题，减少由于人/货进出带来的大量尘埃粒子由洁净室的入口处安装功能齐全的“气闸室”可以减少空气污染微粒的数量，当人/货通过风淋室时，污染微粒被经过过滤的高度洁净空气射掉，25m/s以上的高风速确保了有效的喷射和飘移微粒经过初效和两级过滤器基本过滤掉。

    1、目的：

    保持风淋的安全使用，维持洁净室环境的洁净度。

    2、风淋室的使用：

（1）进入洁净无尘室的人员应在外更衣室脱去外衣，除下手表、手机、饰品等物品。

（2）进入内更衣室，穿戴净化无尘衣、帽、口罩、手套。

（3）拉开不锈钢风淋门人员进入风淋室后，风淋门立即自动关闭外门，红外线（声控/人体热能）感应，风淋自动启动，吹淋15秒（出厂已设置）。注意：风淋室在吹淋时两个不锈钢门不能同时打开，半导体净化车间维护，如强行打开将损坏电子锁，风淋室两门是电子互锁控制。

（4）风淋室吹淋结束后，推开出门进入洁净无尘室。